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真空探針臺測試設備 高低溫測試臺探針臂為X/Y/Z三軸移動，三個方向均可在真空環境下精密移位調節，其中X方向調節范圍：0－30mm；y方向調節范圍：0－20mm；z方向調節范圍：0－20mm；用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行

該探針臺的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環境下調節，其中X方向調節范圍：0－30mm；y方向調節高低溫控制真空探針臺 * 范圍：0－13mm；z方向調節范圍：0－13mm；用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測。

真空測試微型探針臺 該腔體設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用級別真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動探針手動調節移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。

實驗室真空加熱腔體 探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本

真空腔體氣體傳感器 加熱主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電化學信號測試。測試腔體可擴展模塊較多，該腔體設計有進氣口和抽真空接口和4-8芯信號真空電極及真空計接口，腔體上部安裝有φ80石英觀察片方便觀察樣品和光學用途。